期刊文章详细信息
先进的FOGALE测量技术为中国半导体产业助力
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]《电子工业专用设备》编辑部
年 份：2015
卷 号：0
期 号：3
起止页码：52-53
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：法国F OGALE Nanotech创立于1983年,是一家致力于高精确度非接触式感测设备研发的公司,其产品在航空、车辆、医学、生化及民生领域有着广泛的应用。在半导体及MEMS生产的晶圆减薄、临时键合、高深宽比的TSV三维集成、MEMS器件测量、三维尺寸度量的解决方案中,凭借其领先的光学及电容量测及享有专利的TSV单点一次性量测技术提供有效的景测和存线工艺控制、成为众多全球领先的客户在3DIC与MEMS生产领域的合作伙伴。
关 键 词：中国半导体产业 FOGALE 三维尺寸 测量技术 量测技术 设备研发 感测 电容量 先进封装 副总裁
分 类 号：U463.820.7]
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