文献类型：期刊文章

作　　者：韩志刚[1] 陈磊[1,2]

机构地区：[1]南京理工大学先进发射协同创新中心,江苏南京210094 [2]南京理工大学电光学院,江苏南京210094

出　　处：《红外与激光工程》

基　　金：国家自然科学基金(U1231111;61108041)

年　　份：2015

卷　　号：44

期　　号：4

起止页码：1236-1242

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2014、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2015_2016、EI(收录号：20153501209484)、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：提出了一种用于测量微观表面三维形貌的宽带光八步移相算法。该算法通过定位宽带光干涉条纹的零相位差位置实现微观轮廓的测量。计算宽带光移相干涉信号中相邻采样点的相位差得到实际移相间隔,从而实现实际移相量的在线标定以及移相误差的校正。分析了倾斜Si C平面的移相干涉条纹,计算结果的标准均方差为1.646 nm,与不存在移相误差时的计算结果吻合。宽带光八步移相算法对干涉包络的变化不敏感,能够抑制移相误差,是一种实用、高精度的微观表面轮廓测量方法。

关 键 词：光学测量 宽带光干涉  显微测量术  移相术  

分 类 号：TH741.1]