期刊文章详细信息
降温速率对三维温度梯度法蓝宝石单晶影响的数值模拟 ( EI收录)
Numerical Simulation on Effect of Cooling Rate on Sapphire Single Crystal Growth with Three-dimensional Gradient Freezing( 3DGF)
文献类型:期刊文章
机构地区:[1]江南大学轻工过程先进控制教育部重点实验室,无锡214122 [2]江苏有能光电科技有限公司,镇江212132 [3]江苏华盛天龙光电设备股份有限公司,金坛213200
基 金:教育部新世纪优秀人才计划(NCET-111-0659);江苏省产学研联合创新资金-前瞻性联合研究项目(BY2014023-11)
年 份:2015
卷 号:44
期 号:2
起止页码:558-562
语 种:中文
收录情况:BDHX、BDHX2014、CAS、CSCD、CSCD2015_2016、EI(收录号:20151800797401)、JST、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊
摘 要:通过有限元分析方法对三维温度梯度法(3DGF)单晶炉内的温场进行数值模拟计算,发现固液交界面附近存在较大的温度梯度,易导致晶体开裂;通过改进坩埚内壁锥度,调整底部隔热屏的结构,选择合适的降温程序取得了较好的实验效果。结果表明,在三维温度梯度法蓝宝石晶体生长过程中,合适的温度梯度和控温程序能够缩短生长周期,提高晶体质量。
关 键 词:3DGF法 蓝宝石 数值模拟 有限元
分 类 号:TN304]
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