文献类型：期刊文章

作　　者：关小军[1,2] 张向宇[1,2] 潘忠奔[2] 王进[1,2] 曾庆凯[3]

机构地区：[1]山东大学材料科学与工程学院,济南250061 [2]山东大学晶体材料国家重点实验室,济南250100 [3]山东交通学院航空学院,济南250357

出　　处：《人工晶体学报》

基　　金：山东大学晶体材料国家重点实验室开放课题(KF1303)

年　　份：2015

卷　　号：44

期　　号：2

起止页码：329-336

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2014、CAS、CSCD、CSCD2015_2016、EI(收录号：20151800797361)、JST、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：为了研究热屏位置对于直拉单晶硅的熔体和固液界面的影响,采用CGSim有限元软件对200 mm直拉单晶硅生长过程进行了模拟,结果表明,随着热屏底端位置上升(或径向内移),熔体自由表面及其邻近区域的温度下降;随着热屏底端位置径向内移,位于两个大涡胞之间的较小涡胞强度增大且移向熔体液面深处;热屏位置上升或径向外移均会使固液界面上凸程度增大,这主要归因于晶体热场的相应变化。

关 键 词：直拉单晶硅 有限元  热屏位置  流场 温场 固液界面

分 类 号：O77]