期刊文章详细信息
激光干涉仪的应用——激光干涉仪技术综述之五
Applications of Laser Interferometer
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]成都工具研究所有限公司,成都市610500
年 份：2015
卷 号：49
期 号：2
起止页码：79-85
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX2014、CSA、CSA-PROQEUST、IC、ZGKJHX、核心刊
摘 要：激光干涉仪具有测量范围大、精度高等特点,在各个领域得到广泛应用。本文介绍了激光干涉仪在数控机床检测、纳米测量、激光跟踪仪等方面的具体应用。
关 键 词：激光干涉仪 激光跟踪仪 纳米计量 机床检测
分 类 号：TG806]
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