文献类型：期刊文章

作　　者：韦必明[1] 金名亮[1] 吴昊[1] 窦盈莹[1] 周国富[1] 水玲玲[1]

机构地区：[1]华南师范大学华南先进光电子研究院,彩色动态电子纸显示技术研究所,广州510006

出　　处：《华南师范大学学报（自然科学版）》

基　　金：国家自然科学基金项目(21303060);广东省自然科学基金项目(S2013010014418);教育部引进创新科研团队项目(IRT13064);广东省创新科研团队项目(2011D039)

年　　份：2015

卷　　号：47

期　　号：2

起止页码：84-89

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2014、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、JST、MR、PROQUEST、RCCSE、ZGKJHX、ZMATH、核心刊

摘　　要：介绍了一种在大面积基材上涂布高粘度光刻胶的线棒涂布法.主要针对涂膜厚度与均匀性进行研究,结果表明,膜厚随着光刻胶粘度和涂布棒尺寸的增大而变厚,涂布速度在某一范围内对膜厚无影响.线棒涂布机设备中所加垫板的硬度直接影响涂膜的均匀性,硬度小的垫板可获得更均匀的涂膜,而垫板高度在某一范围内对膜厚无影响.与常用旋涂法相比,线棒涂布法具有操作简单、节省材料和可大面积涂布等优点.

关 键 词：线棒涂布法  大面积涂布  高粘度 光刻胶 涂布工艺

分 类 号：TQ586.3]