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期刊文章详细信息

一种新型MEMS加速度计温度补偿方法研究    

Study of a Novel Method of Temperature Compensation for MEMS Accelerometer

  

文献类型:期刊文章

作  者:郑长勇[1,2] 陈军宁[2]

机构地区:[1]安徽建筑大学电子与信息工程学院,合肥230601 [2]安徽大学电子信息工程学院,合肥230601

出  处:《传感技术学报》

基  金:安徽省教育厅自然科学重点科研项目(KJ2013A071)

年  份:2015

卷  号:28

期  号:1

起止页码:39-42

语  种:中文

收录情况:BDHX、BDHX2014、CAS、CSCD、CSCD2015_2016、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘  要:为降低环境温度对加速度计测量输出的影响,本文提出了一种新的加速度计温度补偿方法,即三维拟合曲面和计算的补偿方法。本文详细介绍了该温度补偿方法的具体原理和实现方法,并用实验进行了验证,实验结果表明加速度计最大零位漂移由温度补偿前的500 m V缩小为温度补偿后的50 m V,即温漂缩小了一个数量级,补偿效果明显。

关 键 词:MEMS 加速度计 温度补偿 最小二乘法

分 类 号:U666.1]

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同被引文献:

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