文献类型：期刊文章

作　　者：陈方涵[1,2] 赵光宇[3] 蒋仕龙[2] 彭文达[1]

机构地区：[1]深圳大学光电工程学院光电子器件与系统(教育部/广东省)重点实验室,广东深圳518060 [2]北京大学深圳研究院运动控制技术实验室,广东深圳518057 [3]华南师范大学华南先进光电子研究院光及电磁波研究中心,广州510006

出　　处：《光子学报》

基　　金：广东省引进创新科研团队计划(No.201001D0104799318)资助

年　　份：2015

卷　　号：44

期　　号：2

起止页码：163-169

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2014、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2015_2016、EI(收录号：20151100646943)、IC、INSPEC、JST、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：基于半导体行业中PCB焊膏印刷检测的实际应用,采用0.45 WXGA DMD芯片设计了数字条纹投影光学系统.以LED作为光源,结合透镜阵列照明DMD芯片;同时,为了减小投影三角关系造成的条纹周期不均匀性对检测结果的影响,采用双远心光路结构将DMD生成的条纹成像到待测表面,且适用的最小检测面积为1mm2.光学模拟结果表明,该数字投影系统在被投影表面上的照明均匀性为91%,投射条纹的对比度高于0.8,且条纹周期均匀,为实际应用与后续条纹分析提供了良好保障.

关 键 词：光学投影  表面缺陷  LED照明 数字条纹投影  数字微镜元件  双远心结构  

分 类 号：O439] TN307]