文献类型：期刊文章

作　　者：冯爱新[1,2,3] 庄绪华[2] 薛伟[1] 韩振春[4,2] 孙铁囤[3] 陈风国[2] 钟国旗[2] 印成[2] 何叶[2]

机构地区：[1]温州大学机电工程学院,浙江温州325035 [2]江苏大学机械工程学院,江苏镇江212012 [3]常州亿晶光电科技有限公司,江苏常州213200 [4]江苏锐成机械有限公司,江苏无锡214206

出　　处：《红外与激光工程》

基　　金：国家自然科学基金项目(51175237);中国博士后基金(20100481096);江苏省博士后基金(1002029C);江苏大学高级人才启动基金(09JDG090);江苏省"六大人才高峰"A类项目;江苏省企业博士集聚计划项目;江苏大学"拔尖人才培养工程"优秀青年学术骨干培养对象课题项目

年　　份：2015

卷　　号：44

期　　号：2

起止页码：461-465

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2014、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2015_2016、EI(收录号：20151800809848)、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：为系统研究不同波长激光与多晶硅材料的相互作用,采用1 064 nm、532 nm、355 nm波长单脉冲激光对多晶硅进行辐照实验,研究多晶硅在这三种波长激光下的损伤形态。实验结果表明:在其他参数不变的情况下,损伤阈值随激光波长的减小而变小,且与波长呈线性关系;在低能量密度水平下,355 nm激光与物质作用主要是以光化学模型为主的光化学-光热共同作用方式,其他波长为光热模型;在激光能量密度处于低水平时,辐照区域出现相互连接的规则六边形微结构,并且六边形中心呈现圆形凸起状态,其产生是由液体横向流动的波动本质造成的,并与多晶硅表面的粗糙度有关。

关 键 词：波长 多晶硅 损伤阈值 微结构

分 类 号：TN249]