文献类型：期刊文章

作　　者：赵正平[1,2]

机构地区：[1]中国电子科技集团公司,北京100846 [2]专用集成电路重点实验室,石家庄050051

出　　处：《微纳电子技术》

年　　份：2015

卷　　号：52

期　　号：1

起止页码：1-13

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2014、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、INSPEC、RCCSE、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：MEMS技术经过20多年的发展已进入移动网络时代的发展阶段。从该发展阶段的典型MEMS器件入手,能够从多种MEMS器件的发展中提取出MEMS发展技术路线。介绍了包含MEMS加速度计、MEMS陀螺仪、MEMS惯性测量单元(IMU)、MEMS麦克风和RF MEMS等新发展阶段的典型MEMS器件近两年的新进展,同时介绍了在设计、工艺、新原理、新材料和新电路结构等方面新的进步或创新,并评估了MEMS技术发展的趋势。同时也对MEMS的集成创新,即可穿戴传感技术的近期发展,按照其获取信息的分类(活动、生理和环境)进行了综述。

关 键 词：MEMS加速度计 MEMS陀螺仪 惯性测量单元(IMU)  RF  MEMS 可穿戴传感  MEMS麦克风

分 类 号：TH703[仪器类]