文献类型：期刊文章

作　　者：苏杰[1] 黄美玲[2] 钟根香[2,3] 黄新明[1,2]

机构地区：[1]南京工业大学材料学院,南京210009 [2]东海晶澳太阳能科技有限公司,连云港222300 [3]西安交通大学能源与动力学院,西安710049

出　　处：《材料导报》

基　　金：国家重点基础研究发展计划(973计划)(2009CB623100);江苏省普通高校研究生科研创新计划(CXZZ11-0326)

年　　份：2014

卷　　号：28

期　　号：24

起止页码：5-8

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2011、CAS、CSCD、CSCD2013_2014、EI、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、UPD、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：研究不同的掺锗浓度对硼掺杂P型多晶硅铸锭性能的影响。实验结果表明:掺锗能够影响多晶硅铸锭中的位错密度、间隙氧浓度和硅片的机械强度。当掺锗浓度低于5×1019 at·cm-3时,位错密度和间隙氧浓度随着掺锗浓度的增加而降低,机械强度则随着掺锗浓度的增加而增强。当铸锭中掺锗浓度为5×1019 at·cm-3时,与不掺锗的硅片相比,掺锗硅片中位错密度平均降低约3%,间隙氧浓度平均降低约6%,机械强度平均提高约20%。但是,当掺锗浓度高于1×1020 at·cm-3时,掺锗对多晶硅铸锭性能的改善效果变差了,并对其性能产生不利的影响。

关 键 词：多晶硅 锗 位错 氧 机械强度

分 类 号：TN305.3]