文献类型：期刊文章

作　　者：郑静[1] 苏国良[1] 黄国强[1] 王国锋[2] 潘金花[2]

机构地区：[1]天津大学化工学院,天津300072 [2]天津市天大北洋化工设备有限公司,天津300192

出　　处：《现代化工》

年　　份：2014

卷　　号：34

期　　号：11

起止页码：14-18

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2011、CAS、CSCD、CSCD2013_2014、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：阐述了多晶硅行业的生产背景和现状,概述了由四氯化硅和二氯二氢硅反歧化反应制备三氯氢硅的反歧化方法和四氯化硅氢化制备三氯氢硅的氢化方法,氢化方法主要包括热氢化法、低温催化氢化法、冷氢化法、氯氢化法、等离子体氢化法等,重点归纳了新型氢化技术低温催化氢化法,并介绍了反歧化方法和多种氢化方法在多晶硅生产过程中的应用,通过对各种方法综合性的分类与讨论,指出了现存方法的优缺点,并对各种方法的应用前景进行了展望。

关 键 词：多晶硅 四氯化硅 三氯氢硅 反歧化反应  氢化反应

分 类 号：TQ028.8]