文献类型：期刊文章

作　　者：高红霞[1,2] 吴丽璇[1,2] 徐寒[1,2] 康慧[3] 胡跃明[1,2]

机构地区：[1]华南理工大学精密电子制造装备教育部工程研究中心,广东广州510640 [2]华南理工大学自动化科学与工程学院,广东广州510640 [3]广东技术师范学院自动化学院,广东广州510665

出　　处：《光学精密工程》

基　　金：国家自然科学基金资助项目(No.61403146);国家863高技术研究发展计划资助项目(No.2012AA041312);国家科技重大专项02专项子课题"面向封装过程的X光学检测关键技术及成套装备"资助项目

年　　份：2014

卷　　号：22

期　　号：11

起止页码：3100-3113

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2011、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2013_2014、EI(收录号：20145200360106)、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：考虑微焦点X射线仪成像信噪比低,混合噪声污染严重等问题,提出了一种乘性、加性混合噪声去除方法。首先,建立了含乘性、加性混合噪声的图像模型;其次,基于总变分和稀疏表示原理分别构造了滤除加性噪声和乘性噪声的目标函数;最后,应用显式差分算法和梯度投影算法分步滤除加性噪声和乘性噪声。实验结果显示,与总变分去加性噪声方法相比,该方法处理后的图像平滑区域均值与标准差比(MSR)平均提升了10.9%,细节区域拉普拉斯梯度模(LS)平均提升了15.6%。这些结果表明:本文算法不仅有效滤除了微焦点X射线图像的混合噪声,并且较好地保留了图像细节特征,能够满足集成电路内部缺陷检测对图像平滑度和细节清晰度的要求。

关 键 词：微焦点X射线检测  X射线图像 总变分模型  稀疏表示  混合去噪  

分 类 号：TP391.4] TP242.6[计算机类]