文献类型：期刊文章

作　　者：何梅[1] 徐晓[2] 冯斌[1,3,4] 王德苗[1,3,4] 金浩[1]

机构地区：[1]浙江大学信息与电子工程学系,杭州310027 [2]昆山万丰电子有限公司,江苏昆山215313 [3]浙江大学昆山创新中心先进电子专用设备研发中心,江苏昆山215300 [4]苏州求是真空电子有限公司,江苏昆山215300

出　　处：《功能材料》

基　　金：国家自然科学基金资助项目(61204124);中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(2014QNA5002)

年　　份：2014

卷　　号：45

期　　号：23

起止页码：23152-23156

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2011、CAS、CSCD、CSCD2013_2014、EI(收录号：20150300425879)、IC、JST、RCCSE、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：采用直流磁控溅射工艺实现了PZT压电蜂鸣片的金属化,分别研究了Cr/Cu/Ag、Ti/Cu/Ag、Cu/Ag 3种复合膜系电极薄膜的微观结构和电学性能差异,并与"丝网印刷银浆再高温烧结"(简称"丝印烧结")金属化工艺进行了比较。研究结果表明,用溅射金属化工艺制备的压电蜂鸣片,其电极膜层致密、均匀,一致性好,电学性能普遍优于丝印烧结工艺,其中又以Ti/Cu/Ag膜系为最佳,最大抗拉强度达到13.5 MPa、平均谐振电阻小于25Ω、机电耦合系数大于0.7,而金属化膜厚仅为丝印烧结工艺的1/4,另外电容量和谐振频率等指标均符合蜂鸣器的标准,各项性能全面优于丝印烧结金属化工艺,具有全过程无污染、生产成本低、可控性强,适合于产业化生产等优点,可以取代丝印烧结工艺。

关 键 词：PZT 蜂鸣片  磁控溅射 复合电极 电性能

分 类 号：TN384] TM221[材料类]