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磁导调制型时栅位移传感器测量方法研究
Research on the Measurement Method for Time Grating Sensor Based on Permeability Modulation
文献类型:期刊文章
机构地区:[1]重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心,重庆400054
基 金:国家自然科学基金仪器科学专项项目(51127001)
年 份:2014
卷 号:27
期 号:8
起止页码:1043-1048
语 种:中文
收录情况:BDHX、BDHX2011、CAS、CSCD、CSCD2013_2014、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊
摘 要:时栅位移传感器采用时空坐标转换理论,可在低加工精度条件下实现角位移的高精度测量,现已应用于高精度数控转台控制系统中。原有的场式时栅位移传感器借鉴电机结构,通过转子线圈感应旋转磁场产生电行波,再通过滑环引出。为了消除滑环结构,进一步降低成本、提高传感器抗干扰能力,通过磁导调制方法产生两路驻波并合成电行波,采用两路驻波磁路分离式结构,设计去除转子绕线的磁导调制型时栅位移传感器。利用电磁仿真软件对传感器的各项参数进行仿真优化,传感器仿真电行波幅值变化6.1%;采用光栅进行精度标定实验,测量精度达到-2.7″^+2.2″。
关 键 词:角位移检测 时栅传感器 磁导调制 光栅标定
分 类 号:TH712]
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