文献类型：期刊文章

作　　者：佘引[1,2,3] 温志渝[1,2,3] 赵兴强[1,2,3] 邓丽城[1,2,3] 尚正国[1,2,3]

机构地区：[1]重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室,重庆400044 [2]重庆大学微系统研究中心,重庆400044 [3]重庆大学光电工程学院,重庆400044

出　　处：《传感技术学报》

年　　份：2014

卷　　号：27

期　　号：8

起止页码：1033-1037

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2011、CAS、CSCD、CSCD2013_2014、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：近年来,随着微能源的发展,微型压电振动能量收集器得到了广泛关注,但传统d31模式PZT薄膜微型压电振动能量收集器输出电压普遍较低,难以满足应用需求。为提高微型压电振动能量收集器的输出电压,论文提出了共质量块悬臂梁阵列压电振动能量收集器新结构,该结构包含压电悬臂梁单元组成的阵列和一个质量块,悬臂梁阵列共用质量块。采用有限元方法对该结构进行了优化设计,得到压电悬臂梁单元优化尺寸为3 mm×2.4 mm×0.05 mm,硅质量块优化尺寸为8 mm×12.4mm×0.5 mm。设计了MEMS压电阵列振动能量收集器加工工艺流程,加工出原理样件。在1 gn加速度,239.7 Hz谐振频率激励下,测试得到样件输出开路电压有效值为9.16 V;在最优化负载200 kΩ下,负载输出电压有效值为5.51 V,输出功率为151.8μW。

关 键 词：微机电系统 振动 能量收集  压电 阵列

分 类 号：TM31] TN384]