文献类型：期刊文章

作　　者：闻小龙[1,2] 彭春荣[1] 方东明[1] 杨鹏飞[3] 陈博[1] 夏善红[1]

机构地区：[1]中国科学院电子学研究所,北京100190 [2]中国科学院大学,北京100049 [3]北京大学微电子学研究院,北京100871

出　　处：《电子与信息学报》

基　　金：国家863计划项目(2011AA040405);国家自然科学基金(61101049;61201078;61302032;61327810)资助课题

年　　份：2014

卷　　号：36

期　　号：10

起止页码：2504-2508

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2011、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2013_2014、EI、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：为了准确测量空间3维电场,解决作用于电场传感器的电场各分量之间的耦合干扰问题,该文提出一种新型的基于共面去耦结构的空间3维电场探测方法。区别于在空间的X,Y,Z 3个方向上进行3维布置传统测量思路,该文提出采用3个不共线的平面分布电场敏感单元,利用电场耦合灵敏度矩阵实现电场3个正交分量的准确解调。采用3个基于微机电系统(MEMS)技术的振动微结构电场敏感单元成功制作出3维电场传感器样机。该文设计出一种可实现任意角度旋转的新的传感器夹具,并构建了3维电场测试标定系统。实验表明,该文研制的3维电场传感器可实现电场3个分量的准确测量,结构简单,消除了3个电场分量之间的耦合干扰,提高了测量精度。

关 键 词：MEMS电场传感器  3维电场  耦合干扰  3维标定  

分 类 号：TP212] TM937]