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基于氧化物的0.8～1.7μm和3.7～4.8μm硬质宽带红外增透膜研制 ( EI收录)
Fabrication of hard infrared anti-reflection coating with broadband in the wavelength of 0.8-1.7 μm and 3.7-4.8 μm based on oxide material
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春130033 [2]中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室,吉林长春130033
基 金：国家自然科学基金资助项目(No.60478035)
年 份：2014
卷 号：7
期 号：5
起止页码：816-822
语 种：中文
收录情况：AJ、CAS、CSA、EI、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、UPD、WOS、ZGKJHX、普通刊
摘 要：从实际应用出发，在0°入射的条件下，在ZnS基底上针对0.8～1.7μm和3.7～4.8μm两个红外波段，设计并制备了双波段红外增透膜。论述了材料选择、膜系设计和制备方法，最终使用等离子辅助沉积技术在ZnS窗口上制备出双波段红外增透膜，透过率及环境测试结果表明：在0.8～1.7μm波段双面平均透过率大于95％，在3.7～4.8μm波段双面平均透过率大于96％。膜层结合牢固并有良好的耐摩擦性能。
关 键 词：红外增透膜 硫化锌 等离子辅助 双波段增透膜
分 类 号：O484] TN304[物理学类]
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