文献类型：期刊文章

作　　者：刘丽丽[1] 王连元[1] 郭欣[1] 刘震[1] 刘丽[1]

机构地区：[1]吉林大学物理学院超硬材料国家重点实验室,吉林长春130012

出　　处：《电子元件与材料》

基　　金：吉林省科技厅重点科技攻关项目资助(No.20140204027GX)

年　　份：2014

卷　　号：33

期　　号：9

起止页码：50-53

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2011、CAS、CSCD、CSCD_E2013_2014、INSPEC、JST、RCCSE、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：设计了一种微气体传感器微热板的电极结构,利用有限元分析工具ANSYS对该微热板的温度场和磁场分布进行了分析和优化,研究了微热板加热电极的宽度和间距对温度分布的影响,并对测量电极的结构进行了优化。结果表明:当微热板加热电极的宽度和间距分别为20μm和10μm且测量电极为无叉指结构时,微热板中心区域能获得高且均匀的温度分布,并且磁场强度最小且分布均匀,这种电极结构有助于消除磁场对测量信号的干扰,提高传感器的整体性能。

关 键 词：微气体传感器  微热板 结构优化 温度分布 有限元分析  磁场分布

分 类 号：TP212.2]