文献类型：期刊文章

作　　者：代红庆[1] 安俊明[1] 王玥[1] 王红杰[1] 吴远大[1] 钟飞[2]

机构地区：[1]中国科学院半导体研究所集成光电子国家重点实验室,北京100083 [2]河南仕佳光子科技有限公司,河南鹤壁458030

出　　处：《半导体技术》

基　　金：国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2013AA031402;2011AA010303);国家自然科学基金资助项目(61274047;61090390;61275029;61205044;61307034)

年　　份：2014

卷　　号：39

期　　号：8

起止页码：584-588

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2011、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD_E2013_2014、INSPEC、JST、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：可调光衰减器（VOA）是波分复用（WDM）系统中最重要的器件之一,它的主要功能是控制和衰减光信号。设计并制备了基于石英衬底的4通道马赫增德尔（Mach-Zehnder）干涉型热光可调光衰减器阵列。首先介绍了热光可调光衰减器的结构和原理,模拟了在有外加偏压时的热场分布,然后介绍了器件的设计及制备工艺过程,并对所制备的器件进行测试。实验结果表明,制备器件的插入损耗小于1.1 dB,动态衰减范围为0~30 dB。在衰减量为30 dB时,外加偏压为12.5 V,功耗仅有120 mW。最后分析了测试结果,并提出了改善器件性能的方法。

关 键 词：波分复用(WDM)  马赫增德尔干涉型  可调光衰减器(VOA)  石英衬底  低功耗

分 类 号：TN256] TN715