文献类型：期刊文章

作　　者：翟玉生[1] 张志峰[1] 苏玉玲[1] 王新杰[2] 冯其波[3]

机构地区：[1]郑州轻工业学院物理与电子工程学院,河南郑州450002 [2]郑州轻工业学院机电工程学院,河南郑州450002 [3]北京交通大学理学院,北京100044

出　　处：《激光与光电子学进展》

基　　金：国家自然科学基金联合项目--南人才培养(U1304507);河南省高校科技创新团队支持计划(2012IRT-STHN013);郑州市科技攻关项目(131PPTGG411-1);校博士基金

年　　份：2014

卷　　号：51

期　　号：8

起止页码：106-110

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2011、CSCD、CSCD2013_2014、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：提出一种基于激光准直技术的多自由度误差同时测量方法。采用半导体激光单模光纤组件为光源,分别以角锥棱镜和分光直角棱镜作为二维直线度误差和三维角度误差的敏感器件,实现了直线导轨五自由度误差的同时测量,且测量移动部分无电缆连接。通过理论分析及实验,验证了方法的可行性和可靠性。在设定参数下,直线度、俯仰偏摆角和滚转角误差的测量分辨率可分别达到0.1μm,0.1″和0.3″。

关 键 词：测量  多自由度 误差  激光准直

分 类 号：TN247]