文献类型：期刊文章

作　　者：程芳[1] 黄美东[1] 王萌萌[1] 范喜迎[1] 李云珂[1] 刘野[1]

机构地区：[1]天津师范大学物理与材料科学学院,天津300387

出　　处：《中国表面工程》

基　　金：国家自然科学基金(61078059);天津师范大学学术创新推进计划(52X09038)

年　　份：2014

卷　　号：27

期　　号：4

起止页码：100-106

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2011、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD_E2013_2014、EI、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：采用多弧离子镀和磁控溅射复合离子镀技术在高速钢基底上制备TiCN涂层,通过改变脉冲偏压占空比的大小获得了不同的涂层试样,利用台阶仪、X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、维氏硬度计等对涂层进行表征,研究占空比对TiCN涂层组织结构和力学性能的影响。结果表明:随着脉冲偏压占空比的增加,TiCN涂层的表面大颗粒逐渐减少,表面形貌得到改善。涂层结构中,(111)晶面的择优取向趋势明显,沉积速率和显微硬度均出现先增大后减小的趋势,且在占空比为40%时均达最大值。TiCN涂层的最高硬度为3 800HV0.025,约为基底硬度的4倍。

关 键 词：复合离子镀  脉冲偏压占空比  TiCN涂层  显微硬度

分 类 号：TG174.444]