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真空泵抽气速率测试计算公式的演变与推导
Evolution and Derivation of Calculation Formula Measuring the Pumping Rate of Vacuum Pump
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]机械电子工业部沈阳真空技术研究所
年 份：1991
期 号：2
起止页码：1-12
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX1992、CAS、ZGKJHX、核心刊
摘 要：目前用定压法测试泵的抽气速率时，流量计测得的只是充入测试罩的气流量，而未能测得并计入测试罩本底气流量。然而规管在测试罩指定位置测量压力时，两种气流量同时存在。该压力值包本底压力。所以，参照苏联学者 的理论，本文提出在测试计算中，应将实测气流量与压力差之比值定义为抽气速率值更接近实际。该压力差为实测压力值与极限压力值之差。关于充入测试罩的气流量的计算，本文参照有关文献，采用不同压力单位对照研究，阐明一系列测试计算公式的演变、沿革。并给出详尽的推导过程及精确的计算公式，以便为采用计算机软件，编制程序以及为将来编制、修订标准时提供理论依据。
关 键 词：真空泵 抽气速率 测试 计算公式
分 类 号：TB752]
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