期刊文章详细信息
微机电系统(MEMS)研究现状及展望
MEMS:state of the art and future trends
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]福州大学机械系,福建福州350002
年 份：2002
期 号：7
起止页码：1-3
语 种：中文
收录情况：AJ、BDHX、BDHX2000、INSPEC、RCCSE、ZGKJHX、核心刊
摘 要：主要综述了微机电系统 (MEMS)领域所涉及的微材料、微机械学、微细加工技术、微元器件、封装等基础理论和关键技术的研究现状 ,分析了存在问题 ,指出了今后的研究重点 ,并对其未来发展作了展望 ,提出了相应的发展策略。
关 键 词：微机电系统 研究现状 微机械学 微细加工 封装
分 类 号：TH－39[机械类]
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