期刊文章详细信息
准分子激光光束能量均匀化的研究进展
The Research Development of the Excimer Laser Energy Uniformity
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]上海第二工业大学应用物理系,上海200070 [2]上海理工大学光学与电子信息工程学院,上海200093
年 份：2002
卷 号：19
期 号：1
起止页码：1-7
语 种：中文
收录情况：ZMATH、普通刊
摘 要：准分子激光在微机械加工,医学,光通讯中具有重要应用。但由于准分子激光固有的特性,其光束能量具有不均匀性,从而准分子激光的应用受到极大制约, 因此,近年来,关于准分子激光光束能量均匀化的研究方面,人们进行了大量的理论和实验研究。本文概述了国内外准分子激光在光束能量均匀化方面的研究进展。
关 键 词：准分子激光器 能量均匀化 能量分析 激光光束 棱镜法 反射镜法
分 类 号：TN248]
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