期刊文章详细信息
类金刚石薄膜硬度的研究 ( EI收录)
Study on Hardness of Diamond-like Carbon Film
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]西安交通大学电气工程学院,陕西西安710049 [2]西安工业学院光电科学与工程系,陕西西安710032
基 金：陕西省自然科学基金资助项目 (2 0 0 0C2 5 )
年 份：2002
卷 号：31
期 号：3
起止页码：9-11
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX2000、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD_E2011_2012、EI、JST、RCCSE、ZGKJHX、核心刊
摘 要：采用脉冲真空电弧离子源镀制了类金刚石薄膜 ,研究了影响类金刚石薄膜硬度的各种因素 ,包括 :基片温度、主回路电压、清洗时间、膜层厚度和脉冲频率等 ,分析了各种镀制参数对薄膜硬度的影响机理 。
关 键 词：类金刚石薄膜 脉冲电弧 硬度 工艺参数
分 类 号：TG174.444]
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