期刊文章详细信息
超净高纯试剂的现状、应用、制备及配套技术
The actuality,application,preparation and assistant technologies of Ultra-clean and high pure chemical reagents
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]北京化学试剂研究所,北京100022
年 份：2002
卷 号：24
期 号：3
起止页码：142-145
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX2000、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、JST、ZGKJHX、核心刊
摘 要：对国内外微电子技术配套专用超净高纯试剂进行了评述
关 键 词：超净高纯试剂 应用 制备 湿法清洗 半导体 刻蚀
分 类 号：TQ421.23]
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