文献类型：期刊文章

作　　者：高玉周[1] 史雅琴[1] 林国强[2] 严立[1]

机构地区：[1]大连海事大学船机修造及金属工艺研究所,辽宁大连116026 [2]大连理工大学三束材料改性实验室,辽宁大连116024

出　　处：《大连海事大学学报》

基　　金：国家自然科学基金资助项目 (5 0 0 710 14 )

年　　份：2002

卷　　号：28

期　　号：2

起止页码：81-84

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2000、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD_E2011_2012、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：利用电弧离子镀方法 ,对独立的Ti靶和Zr靶的电流进行控制 ,成功地在高速钢基体上制备了不同成分配比的 (Ti,Zr)N薄膜 .透射电子显微镜结果表明 :(Ti,Zr)N薄膜为单一的fcc结构 .采用X射线衍射分析显示 :(Ti,Zr)N薄膜出现分离的 (Ti,Zr)N、(Zr ,Ti)N、TiN、ZrN的混合相结构 .(Ti,Zr)N膜层随弧电流的增加 ,择优取向从 (2 2 0 )→ (111) (2 2 0 )→ (111)变化 .显微硬度测试表明 ,薄膜具有很高的硬度 ,在较宽的成分范围内硬度基本保持一致 .同时探讨了 (Ti,Zr)N薄膜的宏观残余应力、显微硬度之间的关系及其微观机制 .

关 键 词：复合薄膜  微观结构  电弧离子镀 显微硬度 TIN薄膜 超硬涂层 钛氮复合薄膜  

分 类 号：O484] TG174.44[物理学类]