文献类型：期刊文章

作　　者：韩修训[1] 阎鹏勋[2] 阎逢元[1] 刘维民[1] 余画洋[2] 徐建伟[2] 吴志国[2]

机构地区：[1]中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室,甘肃兰州730000 [2]兰州大学等离子体与金属材料研究所,甘肃兰州730000

出　　处：《摩擦学学报》

基　　金：国家自然科学基金资助 ( 1 0 0 740 2 2 )

年　　份：2002

卷　　号：22

期　　号：3

起止页码：175-179

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2000、CAS、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号：2002437157220)、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：分别利用磁过滤阴极弧等离子体沉积装置和直流磁控溅射装置在不锈钢基底上制备了 Ti N涂层 ,采用 X射线光电子能谱仪、X射线衍射仪和扫描电子显微镜对涂层的结构及形貌进行了表征 ;利用纳米压痕仪测定了涂层的硬度 ;在 DF- PM型动摩擦系数精密测定仪上考察了涂层的摩擦学性能 .结果表明 :与采用直流磁控溅射法在 40 0℃基底上制备的 Ti N涂层相比 ,采用磁过滤沉积装置在室温下制备的 Ti N涂层更加致密 ,表面平滑 ,最大硬度达 3 5 GPa,摩擦系数明显较小 ( 0 .1～ 0 .4) 。

关 键 词：物理气相沉积 氮化钛涂层 结构  摩擦性能  纳米压入 PVD

分 类 号：TG174.444]