期刊文章详细信息
步进电动机驱动的四轴超精密机床
Ultra-precision Machine Tool with Four Stepper-motor-driven Axes
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]凯泽斯劳滕大学
年 份：2002
期 号：5
起止页码：17-18
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX2000、CSCD、CSCD_E2011_2012、JST、ZGKJHX、核心刊
摘 要：文章介绍了凯泽斯劳滕大学新开发一种步进电动机驱动的四轴超精密机床的结构、工作原理及步进电动机控制系统。该机床具有纳米级运动精度 ,可以加工圆柱、球面及非球面等光学表面 ,表面粗糙度值小于 5nm。
关 键 词：非球曲面 步进电动机 四轴超精密机床
分 类 号：TG502]
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