期刊文章详细信息
激光微细加工技术及其在MEMS微制造中的应用
Laser Micromachining and Its Application in the Microf abrication of MEMS
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]浙江大学生产工程研究所桂林电子工业学院 [2]桂林电子工业学院 [3]浙江大学生产工程研究所
年 份：2002
期 号：3
起止页码：5-7
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX2000、CSCD、CSCD_E2011_2012、JST、ZGKJHX、核心刊
摘 要：文章综述了当前MEMS各类微制造技术 ,阐述了各种激光微细加工技术的原理、特点 ,主要包括准分子激光微细加工技术、激光LIGA技术、激光微细立体光刻技术等 ,以及它们在MEMS微制造中的应用。
关 键 词：激光微细加工 微机电系统 激光LIGA 微细立体光刻 微制造
分 类 号：TG665] TH16]
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