文献类型：期刊文章

作　　者：孙以材[1] 刘新福[1] 高振斌[1] 孟庆浩[1] 孙冰[2]

机构地区：[1]河北工业大学电气信息学院,天津300130 [2]天津计量研究所,300192

出　　处：《固体电子学研究与进展》

基　　金：国家自然科学基金资助课题 (批准号 692 72 0 0 1);天津市自然科学基金项目(批准号 0 13 60 2 0 11);河北省自然科学基金项目 (2 0 0 1年 )

年　　份：2002

卷　　号：22

期　　号：1

起止页码：93-93

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2000、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：用斜置的四探针方法 ,依靠显微镜观察 ,将针尖置于微区图形的四个角区 ,用改进的范德堡公式可以得到微区的薄层电阻。文中对测准条件作了分析。并用该仪器测定了硼扩散片的薄层电阻分布。在测试过程中应用微处理器 。

关 键 词：微区薄层电阻 探针技术  范德堡法  四探针测试仪  

分 类 号：TN307]