期刊文章详细信息
真空气相沉积制备碲化镉薄膜的电学和光学特性 ( EI收录)
INVESTIGATION ON THE ELECTRICAL AND OPTICAL PROPERTIES OF THE CdTe THIN FILM
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]内蒙古大学新能源研究中心,呼和浩特010021
基 金：国家自然科学基金资助项目 (695 60 0 1)
年 份：2002
卷 号：23
期 号：2
起止页码：134-137
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX2000、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊
摘 要：用真空气相沉积法 ,同时蒸发Cd和Te材料 ,在玻璃衬底上沉积CdTe薄膜。对CdTe薄膜掺杂In ,并用氮气作保护气体 ,在不同温度和时间下对薄膜进行热处理 ,研究薄膜的电学特性和光学特性。结果表明 ,用真空气相沉积法制备的CdTe薄膜的电学。
关 键 词：CDTE薄膜 真空气相沉积 掺杂 热处理 碲化薄膜 电学特性 光学特性 铟 半导体
分 类 号：TN304.25] TK51]
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