文献类型：期刊文章

作　　者：张勤俭[1] 张建华[2] 李敏[3] 张勤河[2] 毕进子[2] 张代林[2] 任升峰[2] 胡玉景[2]

机构地区：[1]北京市电加工研究所,北京100083 [2]山东大学机械工程学院,山东济南250061 [3]国家电力公司电力建设研究所,北京100055

出　　处：《机械工程材料》

基　　金：国家自然科学基金资助项目 (5 0 0 75 0 48)

年　　份：2002

卷　　号：26

期　　号：3

起止页码：17-19

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2000、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、JST、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：用无机盐先驱体 ,溶胶 凝胶工艺在氧化铝基工程陶瓷上成功制备了Al2 O3薄膜。用差热分析 (DTA)、扫描电子显微镜 (SEM )、X射线衍射 (XRD)、二次离子质谱 (SIMS)等手段对Al2 O3薄膜的物相组成、表面和断面形貌及界面结构进行了分析。结果表明 :制备的薄膜完整 ,内部无明显的宏观缺陷 ;Al2 O3晶粒均匀 ,主要物相为α Al2 O3;基体中的元素在薄膜中有明显的扩散 ,有助于提高界面结合强度。

关 键 词：无机盐先驱体  溶胶-凝胶法 薄膜  界面  制备  氧化铝陶瓷 陶瓷膜

分 类 号：TQ174.758]