文献类型：期刊文章

作　　者：季秉厚[1] 孟凡英[1] 李健[1] 其其格[1]

机构地区：[1]内蒙古大学新能源研究中心,呼和浩特010021

出　　处：《太阳能学报》

基　　金：国家自然科学基金资助项目 (695 60 0 1)

年　　份：2002

卷　　号：23

期　　号：1

起止页码：41-44

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2000、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：用一种简便的制备CdTe薄膜的方法———真空气相沉积法 ,在玻璃衬底上沉积CdTe薄膜。在真空度为133μPa真空室中 ,同时蒸发Cd +Te材料 ,形成CdTe薄膜。为改善其性能 ,采用改变Cd∶Te的原子配比和在Cd +Te材料中掺杂In ,用N2 作保护气体 ,要不同温度下对薄膜进行热处理。通过SEM ,XRD ,SAM和AES等测试分析 ,分别研究了热处理前后CdTe薄膜的结构。

关 键 词：CDTE薄膜 真空气相沉积  掺杂 in  热处理  测试  碲化镉薄膜 太阳能电池

分 类 号：TM914.4] TN304.25]