期刊文章详细信息
热丝碳化促进CVD金刚石成核增强的物理机制 ( EI收录)
Mechanism of diamond nucleation enhancement by filament carburization in HFCVD process
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]浙江大学物理系,浙江杭州310028 [2]浙江大学中心实验室,浙江杭州310028
基 金：浙江省自然科学基金资助项目(596030)
年 份：2002
卷 号：33
期 号：1
起止页码：46-48
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX2000、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、EI、IC、JST、RCCSE、RSC、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊
摘 要：采用扫描电镜、Ｘ射线衍射及喇曼光谱等手段研究了ＨＦＣＶＤ过程中热丝碳化对金刚石成核特性的影响。热丝经充分碳化后能发射出更多热电子，进而从反应气体中激发出更多原子Ｈ和ＣＨ３＋，使金刚石晶核的孕育期大为缩短，３ｍｉｎ内即可在未经表面预处理的Ｓｉ衬底上获得１０１０ｃｍ－２以上的高晶核密度。
关 键 词：热丝碳化 金刚石 成核 CVD 金刚石膜
分 类 号：O484.1]
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