期刊文章详细信息
微机电系统中微摩擦特性及控制研究 ( EI收录)
STUDY ON PERFORMANCES OF MICRO-FRICTION AND ITS CONTROL IN MEMS
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]南昌大学机电工程学院,南昌330029 [2]清华大学
基 金：国家自然科学基金重点资助项目(59735110)。
年 份：2002
卷 号：38
期 号：3
起止页码：1-5
语 种：中文
收录情况：AJ、BDHX、BDHX2000、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊
摘 要：针对微机电系统设计中存在的微摩擦问题，论述了开展微观摩擦研究的意义和必要性。全面总结了微摩擦基本特性研究的进展，包括微观摩擦与宏观摩擦的对比，微观摩擦与表面形貌的相关性，以及粘滑现象等。提出了控制微摩擦特性的一些主要研究方向。
关 键 词：微机电系统 微摩擦 控制 表面形貌 粘液
分 类 号：TH－39[机械类] TH117.1
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