期刊文章详细信息
我国“十五”期间IC制造装备的发展战略研究
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]清华大学制造工程研究所
年 份：2002
期 号：2
起止页码：5-9
语 种：中文
收录情况：普通刊
摘 要：本文将通过世界IC工艺装备的发展趋势和国内现状的分析 ,从十五“863”重大专项的角度 ,对我国的IC装备发展战略进行探讨。提出以100nm的光刻机等关键设备为战略目标 ,以自主技术创新突破和产业化为目的 ,实现我国IC装备技术和产业的跨越式发展。
关 键 词：集成电路 制造装备 光刻机 发展战略 工艺
分 类 号：F426.63]
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