期刊文章详细信息
室温下单晶硅压痕微裂纹的形成与扩展
Indention microcrack formation and propagation in single crystalline silicon at room temperature
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]福州大学材料学院,福建福州350002 [2]福州大学电子系,福建福州350002 [3]中国科学院金属研究所固体原子象开放实验室,辽宁沈阳110015
年 份：2002
卷 号：21
期 号：1
起止页码：56-58
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX2000、CAS、CSCD、CSCD2011_2012、INSPEC、JST、RCCSE、ZGKJHX、核心刊
摘 要：用透射电镜定位观察研究了在室温下高纯单晶硅显微压痕表面radial脆性微裂纹的纳观形变 ,阐述了塑性变形对微裂纹形核、扩展及开裂的影响。发现 :室温下单晶硅的压痕前沿经历了极复杂的非线性演化 :前沿区的位错发射与运动 (Kcleave>Kemit时 )、解理微纹形核与扩展 (σ塞 >σth 时 )。
关 键 词：定位观察 位错 塑性诱导解理 室温 单晶硅 压痕 微裂纹
分 类 号：O77]
参考文献：
正在载入数据...
二级参考文献：
正在载入数据...
耦合文献：
正在载入数据...
引证文献：
正在载入数据...
二级引证文献：
正在载入数据...
同被引文献：
正在载入数据...
