文献类型：期刊文章

作　　者：李河清[1] 蔡珣[1] 陈秋龙[1]

机构地区：[1]上海交通大学教育部高温材料及高温测试开放实验室,上海200030

出　　处：《材料热处理学报》

基　　金：国家自然科学基金资助项目 (59971 0 30 )

年　　份：2001

卷　　号：22

期　　号：4

起止页码：52-55

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2000、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：采用纳米压入技术测试薄膜 (涂层 )的力学性能日益受到关注。测试过程中可自动记录载荷—压深曲线 ,能够获取薄膜 (涂层 )的硬度、弹性模量、薄膜 (涂层 )自身结合强度、膜基界面结合强度、残留应力、屈服强度以及应变硬化率等力学性能数据。本文扼要介绍了纳米压入技术表征薄膜 (涂层 )

关 键 词：薄膜  涂层 纳米压入 力学性能

分 类 号：O484.5] TG115.5[物理学类]