文献类型：期刊文章

作　　者：宋淑芳[1] 李健[1] 季秉厚[1]

机构地区：[1]内蒙古大学新能源研究中心

出　　处：《内蒙古大学学报（自然科学版）》

基　　金："九五"国家重点攻关科技项目 (96- A1 7)

年　　份：2001

卷　　号：32

期　　号：6

起止页码：704-706

语　　种：中文

收录情况：AJ、BDHX、BDHX2000、CAS、CSCD、CSCD_E2011_2012、JST、MR、RCCSE、WOS、ZGKJHX、ZMATH、ZR、核心刊

摘　　要：采用真空蒸发法和热氧化制备纳米 Zn O薄膜 ,分析掺杂对薄膜结构的影响 .实验发现 ,掺入一定比例的 In,可以得到沿 c轴择优取向的纳米 Zn O薄膜 ,薄膜结晶度有所下降 ,影响薄膜沿 c轴的择优取向 .掺 Sb可以得到沿 c轴择优取向的纳米 Zn O薄膜掺 .Bi可以改善结晶度 ,获得强烈沿 c轴的择优取向的薄膜 .实验发现随 In含量的增加 ,薄膜晶粒尺寸逐渐减小 ,随 Sb含量的增加 ,晶粒尺寸逐渐增加 ,而

关 键 词：纳米ZNO薄膜 掺杂 氧化锌 薄膜结构  结晶度 禁带宽度

分 类 号：O484.1]