期刊文章详细信息
温度对非晶SiO_x薄膜的光致发光特性的影响
The influence of temperature on photoluminescence of SiO_x films
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]天津理工大学光电系,天津300191 [2]苏州大学理学院物理系,苏州215006
年 份：2001
卷 号：17
期 号：3
起止页码：65-70
语 种：中文
收录情况：CAS、普通刊
摘 要：采用双离子束共溅射法制备的SiOx 薄膜为非晶结构 ,在室温下观察到了可见光致发光 (PL)现象 ,探测到样品有四个PL峰 ,它们的峰位分别为～ 32 0nm ,～ 4 10nm ,～5 6 0nm和～ 6 30nm ,且峰位和峰强随温度 (基片温度Ts 和退火温度Ta)的变化而发生变化 。
关 键 词：SIOX薄膜 光致发光 非晶硅氧化合物薄膜 双离子束共溅射法 温度 峰位 峰强
分 类 号：O484.41]
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