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用透射反射扫描法检测光学薄膜的激光损伤 ( EI收录)
Determinant of laser-induced-damage of thin film by the scan of transmission and reflectance
文献类型:期刊文章
机构地区:[1]四川大学辐射物理及技术教育部重点实验室,四川成都610064 [2]中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川绵阳621900
基 金:国家 8 6 3激光技术领域资助课题
年 份:2002
卷 号:14
期 号:1
起止页码:45-48
语 种:中文
收录情况:BDHX、BDHX2000、CAS、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、EI(收录号:2002397107617)、IC、INSPEC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、核心刊
摘 要:用波长 1 .0 6 μm的激光透射反射自动扫描装置扫描了激光辐照前后薄膜的反射比和透射比。薄膜样品的工作波长为 1 .0 6 μm。将扫描结果与相衬显微镜观察到的形貌相对照。实验结果表明 ,用透射反射扫描法不仅能反映出相衬显微镜所能观察到的损伤 ,而且也能发现某些显微镜所不能发现的损伤。由于透射比和反射比可以反映出薄膜对激光的传输性能 ,因此也能反映出薄膜能否继续工作 ,以此来判定损伤与否。因此用透射反射扫描法可以作为检测损伤的手段 ,由于简单易行 ,可以在线检测。
关 键 词:激光损伤 光学薄膜 损伤阈值 透射扫描法 检测 惯性约束核聚变
分 类 号:TL632] O484.5]
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