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气相沉积法制备聚酰亚胺薄膜的光、电特性研究
Investigation on Optical and Electrical Properties of Polyimide Thin Films by Vapor Deposition Polymerization
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]西安交通大学电信学院光电技术与太阳能研究所,西安710049
基 金：国家自然科学基金资助项目(10075038)
年 份：2001
卷 号：14
期 号：5
起止页码：29-33
语 种：中文
收录情况：CAS、普通刊
摘 要：以均苯四甲酸酐（ＰＭＤＡ）和二氨基二苯醚（ＯＤＡ）为单体原料，研究了在２×１０－５Ｔｏｒｒ真空度下，通过控制双源单体的加入摩尔计量、加热时间和其沉积速率，在玻璃衬底上合成了聚酰亚胺的预聚体聚酰胺酸，再经１５０～２００℃真空加热亚胺化，１小时后得到了成膜性良好的均匀聚酰亚胺薄膜。通过红外吸收、ｘ射线衍射、扫描电镜等方法对样品的组织结构和特性进行了研究和探讨。结果表明，气相沉积法制备的聚酰亚胺薄膜具有良好的电学特性和热稳定性，不失为聚合物合成的可能途径之一。
关 键 词：非线性光学材料 聚酰亚胺 气相沉积法 薄膜 光电特性
分 类 号：TN256]
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