期刊文章详细信息
基于厚膜技术E型三维加速度传感器的设计
E-type 3-D Accelerometer's Design Based on Thick Film Technology
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]中国科学院智能机械研究所传感技术国家重点实验室,合肥市230031
基 金：传感器技术国家重点实验室基金支持
年 份：2001
期 号：9
起止页码：3-5
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX2000、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD_E2011_2012、IC、INSPEC、JST、RCCSE、ZGKJHX、核心刊
摘 要：提出采用厚膜技术设计一种一体化三维加速度传感器 ,其采用E型结构和特殊的组桥方式实现对三维加速度信息的检测。介绍了传感器的结构 ,并详细讨论了传感器工作原理和维间耦合问题。由于E型结构的对称性 ,使得所设计的三维加速度传感器在低量程、高灵敏度应用场合中具有良好的特性。
关 键 词：厚膜技术 三维加速度传感器 E型结构 维间耦合 设计
分 类 号：TP212.12]
参考文献：
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引证文献：
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同被引文献：
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