期刊文章详细信息
多功能椭偏测厚仪
The multifunctional ellipsometer
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]华南师范大学物理系,广州510631 [2]广东省公安厅科技处,广州510050
年 份：2001
卷 号：27
期 号：5
起止页码：432-434
语 种：中文
收录情况：CAS、CSCD、CSCD2011_2012、IC、JST、RCCSE、SCOPUS、ZGKJHX、普通刊
摘 要：研究成功一台变入射角反射式消光法多功能智能椭偏测厚仪。实验表明 :仪器的测厚准确度为± 0 1nm ;椭偏参数Ψ和Δ的测量重复性精度分别为± 0 1°和± 0 3° 。
关 键 词：椭偏仪 消光法 膜厚
分 类 号：O484.5] H744[物理学类]
参考文献：
正在载入数据...
二级参考文献：
正在载入数据...
耦合文献：
正在载入数据...
引证文献：
正在载入数据...
二级引证文献：
正在载入数据...
同被引文献：
正在载入数据...
