期刊文章详细信息
微流控分析芯片的加工技术
Microfabrication Techniques for Production of Microfluidic Chips
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]浙江大学化学系微分析系统研究所,杭州310028
基 金：教育部回国人员基金资助
年 份：2001
卷 号：18
期 号：4
起止页码：10-14
语 种：中文
收录情况：ZGKJHX、普通刊
摘 要：综述了微流控分析芯片的加工技术和材质性能。光刻和蚀刻技术常用于加工硅、玻璃和石英芯片。有机聚合物由于品种多、易加工 ,是代替玻璃和石英的芯片材料。本文总结和讨论了各种芯片材料和它们的加工方法 ,如光刻、湿法刻蚀、干法刻蚀、模塑法、软刻蚀、热压法、激光切蚀法、LIGA技术和键合技术。引用文献
关 键 词：微流控分析芯片 微制备 光刻 蚀刻 软刻蚀 键合
分 类 号：TN405]
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