期刊文章详细信息
光子热丝法沉积金刚石膜(英文)
Deposition of diamond films by photo－hotfilament method
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]黑龙江省光电技术研究所,黑龙江157000 [2]吉林大学超硬材料国家重点实验室,吉林130023
年 份：2001
卷 号：7
期 号：3
起止页码：311-313
语 种：中文
收录情况：AJ、CAS、CSCD、CSCD_E2011_2012、JST、SCOPUS、ZGKJHX、普通刊
摘 要：采用一种改进的热丝 CVD系统沉积金刚石膜。在传统热丝 CVD腔中设置一套红外线发 生器，中心波长 3.5μ m,处于氢与甲烷分子拉伸振动吸收峰位置。由于共振吸收能量使反应气 体分解加强 ,在反应区获得较高浓度的原子氢和活性碳氢基团，使金刚石膜的生长速率和品质得到了提高。
关 键 词：光子热丝 金刚石膜 生长速率 CVD
分 类 号：TN304.18] O484]
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