文献类型：期刊文章

作　　者：黄立业[1] 徐可为[1] 吕坚[2]

机构地区：[1]西安交通大学材料研究中心金属材料强度国家重点实验室,西安710049 [2]特鲁瓦技术大学机械系统并行工程实验室

出　　处：《无机材料学报》

基　　金：国家自然科学基金重点项目(59931010);基地建设项目;中法先进研究计划项目(PRA MX99-06);中国科学院固体润

年　　份：2001

卷　　号：16

期　　号：5

起止页码：1004-1008

语　　种：中文

收录情况：BDHX、BDHX2000、CAS、CSA、CSA-PROQEUST、CSCD、CSCD2011_2012、DOAJ、EI、IC、JST、RCCSE、SCI(收录号：WOS:000171976100039)、SCI-EXPANDED(收录号：WOS:000171976100039)、SCIE、SCOPUS、WOS、ZGKJHX、核心刊

摘　　要：用射频等离子体增强化学气相沉积在钛合金表面制备了类金刚石薄膜，利用纳米压入仪及其附件研究了薄膜与纳米划擦有关的力学性能．结果表明：随薄膜厚度的增加，其硬度略有增加，但增幅较小，弹性模量没有明显的相应规律；薄膜在划擦过程中，随载荷增加，先后经历薄膜变形、薄膜与基体共同变形及薄膜剥离三个阶段；在薄膜变形阶段，划擦对薄膜的损害较小；当压头进入薄膜一定深度后，划擦后薄膜与基体的变形不同步，造成薄膜沿划痕向两边形成整齐排列的小裂纹，呈鱼骨状；达到临界载荷值时，薄膜在界面处发生脆性剥落；随膜厚增加，薄膜的临界载荷增大，因其残余应力的相应增大而发生大面积脆性剥落．

关 键 词：类金刚石薄膜 纳米压入 纳米划痕 生物材料 钛合金  生物力学性能

分 类 号：R318.108[生物医学工程类]