期刊文章详细信息
MEMS的设计方法与系统模拟
Design and system-level simulation of MEMS
文献类型：期刊文章
机构地区：[1]东南大学微电子中心,江苏南京210096
基 金：教育部科学与技术研究重点资助项目 ( 0 0 0 6 5 )
年 份：2001
卷 号：20
期 号：10
起止页码：57-60
语 种：中文
收录情况：BDHX、BDHX2000、CSCD、CSCD2011_2012、核心刊
摘 要：随着MEMS产业重点从单个的MEMS器件向MEMS系统产品的转移 ,MEMS系统级模拟变得日益重要 .文中主要介绍了MEMS系统的一些结构化、标准化的设计方法以及MEMS系统建模与模拟的分级 ,重点阐述了MEMS器件级与系统级模拟之间的桥梁———宏模型的建立及系统级模拟的实现。
关 键 词：微电子机械系统 结构化设计 系统模拟
分 类 号：TP271.4] TH－39]
参考文献：
正在载入数据...
二级参考文献：
正在载入数据...
耦合文献：
正在载入数据...
引证文献：
正在载入数据...
二级引证文献：
正在载入数据...
同被引文献：
正在载入数据...
